




特種氣體的分類
近年來我國微電子、光電子等電子信息產業(yè)高速發(fā)展,促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產業(yè)對氣體的使用要求極高,所以我們特將這個領域所使用的特種氣體叫電子特氣。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽能電池片、半導體發(fā)光二極管(LED)、液晶面板、光纖、IC、半導體分立器件、線路板等高精尖行業(yè)。主要包括:
1、硅族氣體:含硅基的硅i烷類。
2、摻雜氣體:含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體。
3、蝕刻清洗氣體:以含鹵化物及鹵碳化合物為主。
4、反應氣體:以碳系及氮系氧化物為主。
5、金屬氣相沉積氣體:含鹵化金屬及有機烷類金屬。

特種氣體:氦氣
氦氣具有化學惰性,常被用做半導體工業(yè)的保護氣和科學實驗中的載體氣。氦氣可以隔絕氧氣,西安特種氣體,避免電焊工件、單質硅和氧氣發(fā)生化學反應。目前,保護氣已成為氦氣的第二大應用領域。在氣相色譜中,氦氣作為載體氣可運送被測氣體且不與其發(fā)生反應。
氦氣分子1小,使其穿透能力強、密度1小,工業(yè)特種氣體,被用做管道檢漏,可解決單純依靠聲波檢測技術無法解決的問題,對深埋管道或擁有保溫層防腐層的熱力、輸油、輸氣管道,特別是低壓運行的管道,有明顯的檢測效果。

特種氣體系統(tǒng)的設計與施工
特氣供氣系統(tǒng)
大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),特種氣體廠,100MW以上的太陽能電池生產線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進的工藝制程設備,用氣需求量大,對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。


您好,歡迎蒞臨安徽譜純,歡迎咨詢...
![]() 觸屏版二維碼 |